1、潔凈廠房內各潔凈室的空氣潔凈度等級,應根據電子工業產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。
2、氣流流型應根據各潔凈室空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。
3、下列情況之一者,凈化空調系統宜分開設置。
1)運行班次或使用時間不同。
2)生產過程中散發的物質對其他工序、設備交叉污染,對產品質量或操作人員健康、安全有影響。
3)對溫濕度控制要求差別大。
4)潔凈室(區)內工藝設備發熱相差懸殊。
5)凈化空調系統與一般空調系統。
6)系統風量過大的凈化空調系統。
4、潔凈室與周圍的空間應保持一定的靜壓差,靜壓差應符合下列規定:
1)各潔凈室與周圍空間的靜壓差應按生產工藝要求確定。
2)不同等級的潔凈室之間的靜壓差應大于等于5Pa。
3)潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差大于5Pa.
4) 凈室與室外的靜壓差應大于10 Pa。
5、非連續運行的潔凈室,可根據生產工藝要求設置值班送風,并應進行凈化處理。
6、潔凈室的清掃方式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等因素確定。潔凈室宜采用移動式高效真空吸塵器。對于空氣潔凈度為1-5級的潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統,潔凈室內的吸塵系統管道應暗敷。
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