二戰后半個世紀是現代科技高速發展的時期,人類經過半個世紀的努力,無論在農業、工業、醫藥、生物、宇宙探索、環境以及風淋室基本理論研究等方面,都取得了偉大的成就。材料的高純度、產品的高精度及高可靠性是這一時期科技發展的特點。
超微細加工、裝配和測試,對諸如空氣潔凈、防微振、防電磁干擾、低噪聲以及對超純水、超純氣體等的嚴格要求,使由此產生的環境控制學得到了迅速發展。控制微振動即防微振,是環境控制的一個重要組成部分。
防微振的重要性體現在各行各業:例如感光化學工業,彩色膠片乳劑層14個涂層總厚度僅19pLm,在涂布過程中由于微小的振動將使乳劑涂層厚薄不勻,在膠片上產生橫紋;在慣導技術方面,為了提高導彈的打擊精度,準確命中目標,需要對陀螺儀、加速度計及組合制導(衛星、導航、地形匹配及景物匹配)系統的精度提出高的要求,這種高精度慣導系統的調試和檢測,必須在極為寧靜的環境中進行;對于微電子工業,線寬0. 1y.m(4G DRAM)產品已進入市場,硅片加工中的光刻工序對微振動的控制要求極為嚴格;其他如精密機械加工、光學器件檢測、激光實驗、超薄金屬軋制以及理化風淋室系列實驗等都需要對微振動進行控制。